近日，松山湖材料實(shí)驗(yàn)室微加工與器件平臺(tái)順利通過(guò)ISO9001質(zhì)量管理體系資質(zhì)認(rèn)證。這張進(jìn)入更廣大市場(chǎng)的“通行證”，意味著實(shí)驗(yàn)室可為高校、科研機(jī)構(gòu)和企業(yè)提供穩(wěn)定、標(biāo)準(zhǔn)、高可靠的半導(dǎo)體材料與器件的設(shè)計(jì)開發(fā)和微納加工服務(wù)，是對(duì)微加工與器件平臺(tái)管理水平、加工技術(shù)和服務(wù)質(zhì)量達(dá)到國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的綜合認(rèn)可。
△ISO9001質(zhì)量管理體系是一套由國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織提出、各國(guó)企業(yè)廣泛認(rèn)可、具有國(guó)際權(quán)威性和通用性的整體管理體系和標(biāo)準(zhǔn)。
科學(xué)管理體系“護(hù)航”，把好工藝質(zhì)量關(guān)
“我們?cè)趯?duì)接周邊企業(yè)時(shí)，企業(yè)多次談及批量加工的需求，而承接批量訂單的前提，就是需要我們平臺(tái)與該企業(yè)有著同樣的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)?！庇兄嗄昶髽I(yè)高管經(jīng)驗(yàn)的微加工與器件平臺(tái)骨干負(fù)責(zé)人汪洋博士坦言，除了先進(jìn)的儀器設(shè)備和專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)，一套科學(xué)規(guī)范的管理體系能夠?yàn)槠脚_(tái)更好地服務(wù)于科研與產(chǎn)業(yè)保駕護(hù)航。
今年1月以來(lái)，平臺(tái)建立了適用于ISO質(zhì)量體系運(yùn)行的組織構(gòu)架，頒布了平臺(tái)級(jí)質(zhì)量手冊(cè)，并擬定了多項(xiàng)程序文件、作業(yè)規(guī)范及表單記錄，對(duì)平臺(tái)全體成員展開多輪培訓(xùn)，經(jīng)過(guò)九個(gè)月的運(yùn)行實(shí)踐和持續(xù)優(yōu)化，最終通過(guò)了第三方認(rèn)證機(jī)構(gòu)的審核，全員參與的全過(guò)程管理模式漸已形成。
△標(biāo)準(zhǔn)化作業(yè)黃光間
△標(biāo)準(zhǔn)化作業(yè)黃光間
“科學(xué)的管理體系是保證工藝技術(shù)能夠穩(wěn)定、一致、可靠的前提，這個(gè)基礎(chǔ)務(wù)必夯實(shí)。”平臺(tái)負(fù)責(zé)人賈海強(qiáng)研究員在化合物半導(dǎo)體器件工藝研究、重大項(xiàng)目以及產(chǎn)業(yè)化技術(shù)轉(zhuǎn)移方面具有豐富經(jīng)驗(yàn)，他表示，“隨著平臺(tái)建設(shè)與能力提升，陸續(xù)有新的工藝設(shè)備通過(guò)驗(yàn)證、投入使用，需要同步做好工藝質(zhì)量把控工作，不斷將新設(shè)備、新工藝納入到質(zhì)量體系范疇中來(lái)。”
△8寸硅晶圓刻蝕工藝
△6寸鍍膜工藝
通用性和個(gè)性化服務(wù)，與產(chǎn)業(yè)“同頻共振”
隨著粵港澳大灣區(qū)國(guó)際科技創(chuàng)新中心的推進(jìn)建設(shè)和大灣區(qū)綜合性國(guó)家科學(xué)中心先行啟動(dòng)區(qū)（松山湖科學(xué)城）的全面啟動(dòng)，科技與產(chǎn)業(yè)對(duì)接、轉(zhuǎn)化的新模式、新業(yè)態(tài)不斷涌現(xiàn)。例如，一些新興科技企業(yè)，擁有自主技術(shù)、特定產(chǎn)品應(yīng)用場(chǎng)景和供銷渠道，但在成立初期尚不能搭建產(chǎn)線，往往會(huì)采用輕資產(chǎn)模式運(yùn)行，其生產(chǎn)制造環(huán)節(jié)相對(duì)薄弱；而平臺(tái)設(shè)備工藝能力就是這種運(yùn)營(yíng)模式的基礎(chǔ)支撐和重要補(bǔ)充。
“利用好平臺(tái)資源為這些新興需求提供更有品質(zhì)的服務(wù)，我們一直在踐行探索。我們將持續(xù)打造在半導(dǎo)體材料器件設(shè)計(jì)及微納加工領(lǐng)域有影響力的公共技術(shù)平臺(tái)，也歡迎更多有需求的企業(yè)和單位前來(lái)交流合作?！辟Z海強(qiáng)研究員展望道。
作為實(shí)驗(yàn)室開放服務(wù)的公共技術(shù)平臺(tái)之一，微加工與器件平臺(tái)現(xiàn)有超凈實(shí)驗(yàn)室面積超1000平方米，對(duì)外共享儀器設(shè)備達(dá)48臺(tái)/套，研究團(tuán)隊(duì)42人，其中研究員與高級(jí)工程師8人、工程師與助理工程師12人。自2020年9月正式對(duì)外開放運(yùn)行以來(lái)，累計(jì)服務(wù)了50家單位88個(gè)團(tuán)隊(duì)，注冊(cè)用戶500余人。
微加工與器件平臺(tái)
立足于微納加工技術(shù)前沿及半導(dǎo)體器件產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢(shì)，松山湖材料實(shí)驗(yàn)室微加工與器件平臺(tái)正在加速建成集先進(jìn)材料加工、器件工藝制備及特殊工藝開發(fā)為一體的綜合性研發(fā)平臺(tái)，可為微電子器件、光電子器件、MEMS&NEMS器件、柔性器件、3D混合集成器件等領(lǐng)域，實(shí)現(xiàn)新材料從微米到納米甚至原子級(jí)別的結(jié)構(gòu)與器件的可控加工與測(cè)試，為客戶提供個(gè)性化的工藝技術(shù)服務(wù)及器件解決方案。